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飛秒激光輔助制造下，以壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)晶石英為基礎(chǔ)的MEMS諧振器工藝。

  • Apr 20,2023
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介紹了一種用于MEMS應(yīng)用的石英諧振器精確制造的新技術(shù)。這種方法基于石英的激光誘導(dǎo)化學(xué)蝕刻。主要加工步驟包括飛秒紫外激光處理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后進(jìn)行濕法蝕刻。激光圖案化Cr-Au涂層用作蝕刻掩模并且用于形成用于壓電致動(dòng)的電極。這種制造方法改變石英的晶體結(jié)構(gòu)或其壓電財(cái)產(chǎn)。缺陷的形成，這在通過優(yōu)化工藝參數(shù)和控制時(shí)間行為來防止激光微加工石英激光與物質(zhì)的相互作用。該工藝不涉及任何光刻，并允許進(jìn)行高幾何設(shè)計(jì)靈活性壓電致動(dòng)梁型諧振器的幾種配置是使用相對(duì)溫和的濕法蝕刻條件，并通過實(shí)驗(yàn)證明了它們的功能。設(shè)備是有區(qū)別的通過降低所制造的石英結(jié)構(gòu)的表面粗糙度和改進(jìn)的壁輪廓而從先前的努力中獲得。
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